InnoEUV: HI-Jena und GSI beteilgt an neuer Partnerschaft für Hochfluss-EUV-Strahlung in Metrologie und Bildgebung
17.03.2026 |
Das Projekt „Innovationspartnerschaft für Hochfluss-EUV-Strahlquellen in Metrologie und Bildgebung (InnoEUV)” entwickelt lasergetriebene Extreme-Ultraviolett-(EUV)-Strahlquellen gezielt weiter für Anwendungen in Metrologie und Bildgebung. Die Kooperation von Helmholtz Institut Jena (HI-Jena) und GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung in Darmstadt mit der Active Fiber Systems GmbH (AFS) soll die Überführung in anwendungsnahe und kommerzielle Anwendungen beschleunigen.
„Mit InnoEUV positionieren wir das Helmholtz-Institut Jena strategisch an der Schnittstelle zwischen grundlegender EUV-Quellenentwicklung und anwendungsorientierter Forschung“, erklärt Privatdozent Jan Rothhardt, Gruppenleiter von „Soft X-ray Spectroscopy and Microscopy“ am HI-Jena und Projektleiter von InnoEUV. „Das Projekt schafft die Grundlage für kompakte, kohärente EUV-Quellen, die erstmals den Transfer von an Großforschungsanlagen entwickelten Methoden und Erkenntnissen in eine breite industrielle Anwendung ermöglichen, und eröffnet neue Perspektiven für EUV-basierte Metrologie- und Bildgebungsanwendungen innerhalb der Helmholtz-Gemeinschaft.“
Zentrales Ziel des Projekts ist die Entwicklung eines neuartigen Ansatzes zur Erzeugung kohärenter, laserähnlicher EUV-Strahlung bei einer Wellenlänge von 13,5 Nanometern mit bislang unerreichten Leistungsmerkmalen. Gegenüber dem Stand der Technik wird eine signifikante Steigerung der Ausgangsleistung erwartet. Dies eröffnet neue Möglichkeiten für Anwendungen in Spektroskopie, Metrologie und Bildgebung, insbesondere für die Inspektion und Charakterisierung von Masken in der EUV-Lithografie.
Nach Projektstart wurde eine enge interdisziplinäre Zusammenarbeit etabliert, die die komplementären Kompetenzen aus Grundlagenforschung und industrieller Technologieentwicklung vereint. Die gemeinsamen Arbeiten konzentrieren sich sowohl auf grundlegende physikalische Fragestellungen als auch auf die Untersuchung technischer Grenzen und der Umsetzbarkeit des neuen EUV-Quellenkonzepts.
Für die herausfordernden Forschungsarbeiten kann das Projekt auf die weltweit einzigartigen „Joint EUV-XUV Technology Laboratories“ zwischen Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF und dem HI-Jena zurückgreifen.
Ein besonderer Schwerpunkt von InnoEUV liegt auf der frühzeitigen und kontinuierlichen Einbindung potenzieller Anwender. Durch die aktive Beteiligung unter anderem von SPECSGROUP werden industrielle Anforderungen, Anwendungsszenarien und Marktrelevanz systematisch in den Entwicklungsprozess integriert.
„InnoEUV ermöglicht es uns, neuartige EUV-Quellenkonzepte in robuste und skalierbare Lasersysteme zu überführen“, sagt Dr. Tino Eidam, Chief Technology Officer (CTO) der Active Fiber Systems GmbH. „Die enge Zusammenarbeit mit dem HI-Jena sowie die frühzeitige Einbindung potenzieller Anwender stellen sicher, dass die entwickelten Technologien konsequent an zukünftigen Anforderungen in Metrologie und Bildgebung ausgerichtet sind.“
Ko-kreative Formate spielen im Projekt eine zentrale Rolle, um Konzepte gemeinsam weiterzuentwickeln, Entwicklungsstrategien abzustimmen und potenzielle Herausforderungen frühzeitig zu identifizieren. Dieser Ansatz unterstützt eine anwendungsorientierte Entwicklung und trägt dazu bei, den Transfer in industrielle Skalierungsschritte zu beschleunigen.
Mit seiner starken wissenschaftlichen Basis und der engen industriellen Einbindung besitzt InnoEUV das Potenzial, wesentliche technologische Fortschritte zu erzielen und neue Forschungs- und Anwendungsfelder für das HI-Jena innerhalb der Helmholtz-Gemeinschaft zu erschließen. Durch die Entwicklung kompakter, table-top-basierter, kohärenter EUV-Strahlquellen leistet das Projekt einen entscheidenden Beitrag zur Überführung leistungsfähiger EUV-Technologien aus der Grundlagenforschung in eine breite industrielle Verwertung und schafft damit neue Voraussetzungen für EUV-basierte Metrologie- und Bildgebungsanwendungen der nächsten Generation.
InnoEUV wird von der Helmholtz-Gemeinschaft im Rahmen der Transferkampagne über die Ausschreibung „Helmholtz Co-Creation Projects“ gefördert. Das Projekt ist als ko-kreative Zusammenarbeit zwischen Wissenschaft und Industrie angelegt. HI-Jena fungiert als wissenschaftlicher Partner, begleitet durch den GSI-Technologietransfer, während AFS als industrieller Partner beteiligt ist. Unterstützt wird das Konsortium durch Industriepartner wie beispielsweise SPECS Surface Nano Analysis GmbH, die ihre Anwendungsperspektiven frühzeitig einbringen. (CP)
