Ultraschallreinigung für UHV-Komponenten

Reinigungsverfahren

 

Die Qualität des Vakuums, insbesondere für Anwendungen im UHV-Bereich, ist in erheblichem Maße durch Art und Menge der Oberflächenkontamination aller Vakuumkomponenten bestimmt.

Durch Bearbeitung, Transport, Montage und Betrieb werden die Oberflächen der Bauteile mit verschiedenen Stoffen (wie beispielsweise Pumpenöl, Schneidöl, div. Fette, etc.) belastet, die nur durch eine geeignete Reinigung zu entfernen sind.

Gemäß einer technischen Spezifikation der GSI wird das nachfolgende Reinigungsverfahren angewendet:

 

  1. Vorreinigung zur Beseitigung von Fett, Öl und groben Verschmutzungen
  2. Zweistufige Ultraschallreinigung im Reinigungsbad (Badtemperatur 80°C, HF-Leistung ca. 20W/l)
  3. Zweimaliges Spülen mit deionisiertem Wasser (Badtemperatur 80°C), anschließend Duschen mit deionisiertem Wasser
  4. Trocknen in reiner Atmosphäre bei ca. 180°C im Ofen oder mit Gebläse

 

Gereinigte Bauteile befinden sich in einem hochreinen Zustand. Sie beginnen unmittelbar mit der Adsorbtion von Material aus der Umgebung. Daher ist es erforderlich, die Umgebung möglichst frei von Verschutzungen wie Öl oder Fetten zu halten.

Dem kann nur Rechnung getragen werden, indem alle zu reinigenden Teile in einem bereits vorgereinigten, d.h. von Fetten und starken Verunreinigungen befreiten Zustand, angeliefert werden.

 

Der mit dem oben beschriebenen Verfahren verbundene Aufwand ist nur zur Reinigung von Vakuumkomponenten aus dem UHV-Bereich gerechtfertigt. Bauteile mit geringerem Anspruch an die Oberflächenreinheit, sollten durch weniger aufwändige Verfahren gereinigt werden.

Die in der Reinigungsanlage verwendeten Lösungen sind für eine optimale Wirkung auf Edelstahloberflächen ausgelegt und können daher Schäden an Oberflächen aus anderen Materialien hervorrufen.

Deshalb können in dieser Anlage, in der Regel, nur Edelstahl-Bauteile gereinigt werden!

 

Ansprechpartner

 

Florian Henkel

Tel. +49(0)6159 71-1422

 

Daniel Wiemer

Tel. +49(0)6159 71-1422

Reinigungsanfragen

Bitte verwenden Sie für Reinigungsanfragen folgende E-Mail:

uhv-reinigung(at)gsi.de


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