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Was Ionen in Werkstoffen bewirken

Wenn energiereiche Ionen auf Materialien einwirken, ist das auch für den Festkörperphysiker und Werkstoffingenieur interessant. Das bei der GSI zur Verfügung stehende Spektrum an Ionensorten und Ionenenergien eröffnet auch der Materialforschung neue Perspektiven, zum Teil mit einer großen Vielfalt von technischen Anwendungen. Neben einer fruchtbaren Zusammenarbeit mit den umliegenden Hochschulen gibt es dabei auch enge Kooperationen mit der Industrie.

Beim Eindringen eines energiereichen Ions in einen Festkörper wird das Material längs der Ionenbahn verändert: Atome werden aus ihrer normalen Lage verschoben, Moleküle in Bruchstücke zerlegt und geordnete Strukturen - etwa Kristallgitter - zerstört. Es entsteht eine dauerhafte Ionenspur, deren Durchmesser und Länge durch Energie und Art des Ions sowie Struktur und chemische Zusammensetzung des bestrahlten Materials bestimmt sind. Überlappen sich bei genügend hoher Bestrahlungsdosis die Ionenspuren, dann lassen sich die physikalischen und chemischen Materialeigenschaften auch makroskopisch verändern - so weitgehend, daß man von einem Material mit neuen Eigenschaften sprechen kann.

Die Materialforschung bei der GSI bearbeitet sowohl grundlagen- als auch anwendungsorientierte Themen. So zielt ein großer Teil der Untersuchungen auf ein besseres Verständnis der von den Ionenstrahlen im Festkörper bewirkten Veränderungen, denn nur mit einem besseren Grundlagenwissen der dabei ablaufenden Prozesse sind gezielte Werkstoffentwicklungen bis hin zu neuen Materialien auf lange Sicht möglich. Daneben gibt es bereits jetzt technisch interessante Anwendungen, wie beispielsweise die Erzeugung von Mikrostrukturen durch galvanisches Abformen geätzter Spuren, die Herstellung optisch wellenleitender Komponenten oder die Erhöhung der maximalen Stromdichten in Supraleitern durch Ionenbeschuß.



Den Ionen auf der »Spur« Schwerionen werden beim Durchgang durch einen Festkörper stark abgebremst. Dabei wird entlang der Bahn des Ions durch Stöße mit den Elektronen des Materials innerhalb sehr kurzer Zeiten eine beträchtliche Energiemenge übertragen, die zu hohen lokalen Energiedichten führt. Die angestoßenen Elektronen übertragen ihrerseits Energie auf die benachbarten Atome oder Moleküle. Liegt das bestrahlte Material als Kristall vor, kann die kristalline Struktur durch diese Prozesse zerstört werden.

Querschnitt Ionenspur
Querschnitt der Ionenspur eines energiereichen Uran-Ions in Germaniumsulfid, aufgenommen mit einem Transmissions-Elektronenmikroskop. Die elliptische Form - mit Achsenlängen von 21,8 und 15,0 millionstel Millimetern (nm) - ist durch die Anisotropie des Kristalls verursacht. Die vier »schmetterlingsartigen« Bildstrukturen stellen die von der Spur ausgelösten Verspannungen des Kristallgitters dar.
Das Material geht im engen Umkreis der Ionenbahn in einen ungeordneten - man sagt - amorphen Zustand über. Es entsteht eine zylinderförmige, etwa einen hunderttausendstel Millimeter »dicke« Spur, deren Länge bei hinreichend hoher Anfangsenergie des Ions mehrere Millimeter betragen kann. Die detaillierte Ausprägung einer Ionenspur erlaubt Rückschlüsse auf die grundlegenden Spurbildungsprozesse. So sind Größe, Form und Struktur von Ionenspuren sowie der Übergangszone zwischen den Kernbereichen der Schädigung und der intakten Umgebung Gegenstand eingehender Untersuchungen für ein breitgefächertes Spektrum unterschiedlicher Materialien, von Metallen über Halbleiter bis zu Isolatoren.

Zum Handwerkszeug dieser Art von Materialforschung gehört ein ganzes Spektrum von Untersuchungsmethoden, das von hochauflösender Mikroskopie über Streuung von Röntgenlicht oder Neutronen bis hin zur Infrarotspektroskopie und zum spurselektiven Ätzen reicht.

Im Wechselspiel zwischen Experiment und Simulationsrechnung werden Spurbildungsmodelle entwickelt, deren Aussagen mit den experimentellen Befunden in verschiedenen Materialien verglichen werden.

Daneben gibt es zahlreiche Anwendungen von Ionenspuren. Aufgrund ihrer großen Länge im Vergleich zum Durchmesser und ihres selektiven Verhaltens beim Ätzen erweisen sie sich als besonders gut geeignet zur Herstellung sehr feiner Strukturen und Objektes mit Dimensionen, die teilweise unter einem tausendstel Millimeter liegen. Bei gezielter Wahl der Säuren oder Laugen wird die geschädigte Substanz im inneren Bereich der Ionenspur deutlich stärker angegriffen als die unbeschädigte Umgebung, insbesondere bei organischen Substanzen. So können beim Voranschreiten des Ätzvorgangs längs der Ionenspur, abhängig von der Ätzbarkeit des unbeschädigten Materials, sehr lange, nahezu zylindrische Kanäle hergestellt werden. Keine andere Strukturierungsmethode leistet hier Vergleichbares.

Kupfernadeln
Galvanisch erzeugte mikroskopisch feine Kupfernadeln mit einer Länge von etwa 0,1 mm, einem Durchmesser von 2,2 tausendstel Millimeter (µm) und einem Spitzenkrümmungsradius von 0,17 µm.
Aufgeätzte Ionenspuren bieten die Möglichkeit der galvanischen Abformung. Beendet man nach vollständiger Füllung der Kanäle den Abscheidungsprozeß und löst das Grundmaterial auf, so ergeben sich aufgrund der hohen Parallelität des Ionenstrahls parallele mikroskopische Nadeln, die auf einem Metallsockel aufsitzen. Durch Variation der Geometrie der geätzten Ionenspurkanäle, des Elektrolyten und der Abscheidungsbedingungen lassen sich Stäbe, Kegel, Spitzen und Röhren in mikroskopischem Maßstab herstellen. Dank der formtreuen Wiedergabe erlaubt die galvanische Abformung dabei eine Art »endoskopischen« Einblick in das Innere der geätzten Ionenspur.

Die galvanische Erzeugung von Mikrostrukturen bietet ein erhebliches Potential technisch interessanter Anwendungen. So läßt sich daran denken, galvanisch erzeugte lange dünne Säulen als mikroskopische Antennen für elektromagnetische Strahlung oder Nadeln als Quellen fürFeldemissionsströme zu verwenden.

Durch gezielten Einschuß einzelner Ionen lassen sich auch regelmäßige Punktraster schreiben und nach dem Aufätzen auf den gewünschten Lochdurchmesser galvanisch abformen. Insgesamt erstrecken sich die möglichen Anwendungsfelder vonderMikroelektronik über die Mikromechanik bis hin zu Biologie und Medizin.



»Intelligente« Filtermembranen für Medizin und Biologie
Ein anderes weitgefächertes Anwendungsfeld bieten ionenbestrahlte Polymerfolien als Membranen mit einheitlicher Porengröße. Der Porendurchmesser wird durch das bestrahlte Material, die Ionenart und Energie, sowie durch den Ätzprozeß genau festgelegt. Um Teilchen- oder Flüssigkeitsströme durch Ionenspurmembranen zu steuern, wendet man folgenden Kunstgriff an: Auf die geätzte Filtermembran wird eine quellbare Hydrogelschicht aufgebracht, die die Folie und die Porenwände bedeckt. Hierbei dient die geätzte Membran als mechanisch stabiles Trägermaterial. Durch geeignete Wahl des Pfropfpolymers kann man zum Beispiel eine Hydrogelschicht aufbringen, die bei Absenkung der Temperatur quillt und bei Erhöhung der Temperatur schrumpft. Somit kann man im Takt einer Temperaturänderung Poren öffnen und schließen.

Diagramm Ionenspurkanal
Temperaturgesteuertes Öffnen und Schließen eines gepfropften Ionenspurkanals in einer Polymerfolie, nachgewiesen über die elektrische Leitfähigkeit.
Lichtleiter-Verzweigung
Lichtleiter-Verzweigung in Plexiglas, hergestellt über Erhöhung des Brechungsindex mittels Ionenbestrahlung. Das Plexiglas wird durch eine Maske mit Ionen bestrahlt. Der Verteiler leitet die über eine Glasfaser eintreffenden Lichtsignale an zwei Empfänger weiter, wobei die beiden Flecken des Lichtaustritts nur einen Durchmesser von jeweils 7,7 µm haben.
Alternativ läßt sich der Porendurchmesser auch durch den pH-Wert der umgebenden Flüssigkeit steuern. Damit läßt sich an vielfältige Anwendungen denken, beispielsweise an eine bedarfsgesteuerte Abgabe von Medikamenten.

In der Telekommunikation und verwandten Gebieten gewinnen optische Wellenleiter und die dazugehörigen Bauelemente wie Koppler und Verteiler zunehmend an Bedeutung.

Es ist abzusehen, daß sie in naher Zukunft in großen Stückzahlen und zu günstigen Preisen benötigt werden.

In den letzten Jahren hat sich das Interesse der Bauelemententwickler mehr und mehr auf die im Materialpreis niedrig liegenden Polymerverbindungen gerichtet. Neben photochemischen Methoden ist die Ionenimplantation ein vielversprechendes Verfahren zur Erzeugung solcher wellenleitenden Strukturen in Polymeren, das auf folgendem Effekt beruht: Die implantierten Ionen brechen entlang ihrer Bahn die chemischen Bindungen im Polymer auf. Durch das Ausgasen niedermolekularer Bruchstücke und die damit verbundene Verdichtung wird der optische Brechungsindex erhöht. Über die Anfangsenergie der Ionen läßt sich deren Eindringtiefe festlegen und damit die Tiefe und Dicke der modifizierten Schicht. Die Ionendosis muß so gewählt werden, daß die Änderung des Brechungsindex ausreicht, um das Licht auch in gekrümmten Wellenleiterstrukturen zu führen. Die Bestrahlung erfolgt dabei durch eine freitragende Maske oder durch eine entsprechend strukturierte Photolackschicht.

Durch Ionenimplantation - den Einbau zusätzlicher Atome eines bestimmten chemischen Elements mittels Ionenbestrahlung - lassen sich die Eigenschaften von metallischen Werkstoffen gezielt verändern. Bei Hüftgelenkprothesen beispielsweise fertigt man Kugel und Schaft derzeit häufig aus einer Legierung, die überwiegend das leichte Element Titan enthält, während man für die künstliche Gelenkpfanne ein Polymer verwendet. Die Dauerverschleißfestigkeit dieses Systems ist durch abgegebene Titanoxydpartikel an der Grenzfläche zwischen Gelenkkugel und Polymerpfanne begrenzt. Durch Implantation verschiedener Ionen unterschiedlicher Energie in eine dünne Oberflächenschicht der Titanlegierung wird jetzt eine Verminderung des Materialabriebs angestrebt. Bei einigen implantierten Elementen zeigte sich im Laborversuch eine deutliche Herabsetzung des Materialabriebs.

Eine ganz andere Anwendung ist das Testen von Schaltkreisen. Die kosmische Strahlung kann in den Bordcomputern von Raumfahrzeugen, Satelliten und in großer Höhe fliegenden Flugzeugen die gespeicherten Informationen verfälschen oder zerstören. Mit einer Schwerionen-Mikrosonde lassen sich solche Prozesse simulieren und dabei die strahlenempfindlichen Bereiche mikroelektronischer Bauelemente herausfinden. Hierzu wird aus dem Ionenstrahl ein dünner Teilstrahl ausgeblendet, der durch eine ionenoptische Linse auf eine Ausdehnung von einem Mikrometer fokussiert und mit einem magnetischen Ablenker zeilenweise über das zu untersuchende Objekt geführt wird. Beim Auftreffen eines Ions auf einen Schaltkreis werden Sekundärteilchen (Ionen und Elektronen) freigesetzt. Diese treffen auf einen Detektor, dessen Signal den Mikrostrahl innerhalb des Bruchteils einer Millisekunde abschaltet. Dann sucht ein Rechner im integrierten Schaltkreis nach Veränderungen gespeicherter Informationen, sogenannten Bitflips, durch den Ionentreffer. Die Lagekoordinaten des Mikrosondenstrahls, bei denen sich Bitflips ereignen, werden festgehalten und ein Lageplan der ionenstrahlempfindlichen Bereiche des Schaltkreises erstellt.



Ionenspuren verbessern Supraleiter
Zu den wichtigsten Eigenschaften von Supraleitern - insbesondere im Hinblick auf ihre Anwendung - zählt die kritische Stromdichte. Sie gibt die Obergrenze an, bis zu der ein Supraleiter verlustfrei Strom tragen kann. In den neuen, technisch wichtigen Hochtemperatur-Supraleitern - sie sind zum Teil noch bei Temperaturen von mehr als 100 Grad über dem absoluten Nullpunkt supraleitend - dringen äußere Magnetfelder in Form sogenannter Flußlinien in den Supraleiter ein. Diese wandern im Material des Leiters und verursachen Energieverluste durch Wärmeentwicklung. So wird die Bewegung der Flußfäden die bestimmende Größe für die Begrenzung des Transportstroms und eine effektive Fixierung der Fäden eine wichtige Forschungs- und Entwicklungsaufgabe.

Man weiß, daß Inhomogenitäten des Materials wie Korngrenzen, Versetzungen und Poren die Flußfäden binden können, so daß die verlustfreie Trägerstromdichte erheblich vergrößert wird. An diesen Sachverhalt knüpfen Untersuchungen mit schweren Ionen an, wobei die zylindrischen Spuren energiereicher Ionen als Haftzentren der Flußfäden benützt werden, um gezielt eine erhebliche Erhöhung des kritischen Stroms zu erreichen.
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